納米氮化硅

氮化硅經歷了怎樣的發展歷程呢？

亨利·愛丁·圣克萊爾·德維爾和弗里德里�！ぞS勒在1857年******報道了氮化硅的合成方法。在他們報道的合成方法中，為減少氧氣的滲入而把另一個盛有硅的坩堝埋于一個裝滿碳的坩堝中加熱。他們報道了一種他們稱之為硅的氮化物的產物，但他們未能弄清它的化學成分。1879年Paul Schuetzenberger通過將硅與襯料（一種可作為坩堝襯里的糊狀物，由木炭、煤塊或焦炭與粘土混合得到）混合后在高爐中加熱得到的產物，并把它報道為成分是Si3N4的化合物。1910年路德維�！の核购吞貖W多爾·恩格爾哈特在純的氮氣下加熱硅單質得到了Si3N4。1925年Friederich和Sittig利用碳熱還原法在氮氣氣氛下將二氧化硅和碳加熱至1250-1300°C合成氮化硅